鈣鈦礦鍍膜機(jī)是現(xiàn)代太陽能電池制造中不可少的設(shè)備之一，它通過精密控制真空環(huán)境及材料蒸發(fā)過程，實(shí)現(xiàn)對(duì)鈣鈦礦薄膜的準(zhǔn)確沉積。
 

　　1.真空環(huán)境：鈣鈦礦鍍膜機(jī)通過抽真空的方式，將待鍍膜的基板置于高度凈化的環(huán)境中。這一步驟至關(guān)重要，因?yàn)槿魏挝⑿〉碾s質(zhì)都可能影響薄膜的質(zhì)量。
 

　　2.材料蒸發(fā)：將鈣鈦礦材料放置在加熱系統(tǒng)中，通過加熱使其蒸發(fā)成氣體。隨后，這些蒸發(fā)的氣體被傳輸至基板表面，形成一層均勻的薄膜。這一過程中，需要準(zhǔn)確控制氣體的流速和均勻性，以確保薄膜的質(zhì)量和厚度滿足要求。
 

　　3.后續(xù)加工：在薄膜形成后，基板將被取出并進(jìn)行后續(xù)的加工步驟，形成太陽能電池組件。這些后續(xù)步驟可能包括薄膜的冷卻、固化以及與其他電池組件的組裝等。
 

　　鈣鈦礦鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)組成：
 

　　1.有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室：這是鍍膜機(jī)的核心部分，用于容納待鍍膜的基板和進(jìn)行材料蒸發(fā)。
 

　　2.真空排氣系統(tǒng)：負(fù)責(zé)將鍍膜室內(nèi)的氣體抽出，以維持高度凈化的環(huán)境。
 

　　3.真空測量系統(tǒng)：實(shí)時(shí)監(jiān)測鍍膜室內(nèi)的真空度，確保其達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)。
 

　　4.蒸發(fā)源：用于加熱并蒸發(fā)鈣鈦礦材料的關(guān)鍵部件。
 

　　5.樣品加熱控溫系統(tǒng)：控制基板的溫度，以保證薄膜在沉積過程中的穩(wěn)定性和均勻性。
 

　　6.電控系統(tǒng)：負(fù)責(zé)整個(gè)鍍膜機(jī)的操作控制，包括溫度、壓力、流量等參數(shù)的設(shè)置和調(diào)節(jié)。
 

　　7.配氣系統(tǒng)：用于向鍍膜室內(nèi)輸送反應(yīng)氣體(如氧氣)，以促進(jìn)鈣鈦礦薄膜的形成和質(zhì)量提升。
 

　　鈣鈦礦鍍膜機(jī)的安全操作與保養(yǎng)規(guī)程：
 

　　1.檢查電源開關(guān)是否處于關(guān)閉狀態(tài)，拔掉插座電源；確認(rèn)機(jī)器輸送系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)的各種電器設(shè)備是否齊全；檢查漏電保護(hù)裝置是否正常等。
 

　　2.操作前應(yīng)測量電氣絕緣阻抗和支持壓縮空氣壓力是否正常；所有從事設(shè)備操作的人員必須經(jīng)過正式培訓(xùn)并持證上崗；操作人員應(yīng)穿戴完整的工作服和必要的防護(hù)裝備。
 

　　3.定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔和維護(hù)，確保其正常運(yùn)行；對(duì)關(guān)鍵部件如蒸發(fā)源、真空系統(tǒng)等進(jìn)行定期檢查和更換，以延長設(shè)備的使用壽命。