產品型號

  SKJ-50晶體生長爐

主要特點

  1、與同類相比屬于小型晶體生長爐，適合于大專院校、研究所使用。

  2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。

技術參數

  1、電源：三相380V  25KW

  2、感應射頻：功率25KW，射頻0.2-20KHz

  3、真空腔體：Φ500mm×700mm

  4、真空度：10^-3torr（機械泵），10^-5torr（擴散泵泵）

  5、zui大提拉行程：500mm

  6、提拉速度：0.1-20mm/h

  7、籽晶桿旋轉速度：0-40rpm

  8、zui大可熔融溫度：2100℃

  9、控溫精度：<±0.2℃

  10、冷卻水：所需水壓0.13-0.18MPa，所需流量60L/min

  11、移動速度：1mm/h-10mm/h可調

  12、快速移動：手動

  13、結晶轉速：1-50rpm

  14、真空系統：機械泵和擴散泵

  15、極限真空度：10^-5torr

產品規格

  1、爐體：880mm×1250mm×2850mm

  2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

  3、中頻柜：1100mm×500mm×1500mm

  4、總重：1500kg